지원사업지원사업R&D·기술·디지털EUV반도체소재
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고 안내(안)
account_balance대전테크노파크·전국·visibility21
사업개요
산업통상자원부, 대전광역시, (재)대전테크노파크는 반도체산업의 국내 기술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보를 위해 다음과 같이 기업을 모집하오니, 관련기업의 많은 신청 바랍니다.
지원분야
EUV 소재 합성 공정개발 기술지원
지원대상
전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업
지원내용
구 분 지원프로그램 내용
기술
지원
시제품제작
- 시제품 제조를 위한 합성공정 등 개발
- 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원
- 1기업당 15,000천원 이내 지원
기술지도 o EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석 및 공정 최적화
(신규 구축 장비 및 기존 장비 활용)
물성평가 지원 o EUV용 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도 확인과 정성 분석, 정량 확인 등 제공
지원 장비
- 시제품 제작 & 기술지도
- 회분식 반응기(60L~1,000L), 미세유체 반응시스템 및 연속흐름 반응 시스템
- 물성평가 지원
- HPLC, 나노입도분석기, 분산안정도측정기, 수분측정기, 오토클레이브,
다중결정화스크리닝 시스템
지원규모
3개社(1기업당 최대 15,000천원 이내 지원)
NO. 제출 서류 비고 1 지원신청서 (붙임 서식 제1호) 파일 등록 2 신청자력 요건 검토서 (붙임 서식 제2호) 날인 후 스캔 등록 3 개인(기업)정보 수집ㆍ이용ㆍ제공ㆍ조회 동의서 (붙임 서식 제2호) 4 청렴서약서 (붙임 서식 제3호) 5 확약서 (붙임 서식 제4호) 6 사업자등록증 / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 파일 등록 7 표준재무제표증명(국세청, 24~25년도 자료) / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 ※ 2025년 제출이 불가한 경우 23~24년도 표준재무제표를 제출하고 2025년 부가 가치세과세표준증명 제출 8 국세 납세증명서(국세청) / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 9 지방세 납세증명서(민원24시) / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 10 국민연금가입자명부(2025년도/국민연금관리공단) 11 4대 사회보험 사업장 가입자명부(2026년도/4대사회보험 정보연계센터)
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