사업개요
- 사업명: 2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원
- 사업목적: 관내 반도체 소부장기업 인프라 지원을 통한 제품화 촉진
- 사업기간: 선정 공고일~2026. 10. 31.(토), 6개월 내외
- 지원대상: 화성시 관내 반도체 소·부·장* 중소·중견기업※본사, 공장, 연구소 중 1개 이상 화성시 소재 필수*반도체 소재·부품·장비 분야란 웨이퍼 제조에서부터 노광, 식각, 증착,세정, 패키징 등 전·후공정에 필요한 소재·부품·장비(「소재·부품·장비산업 경쟁력 강화 및 공급망 안정화를 위한 특별조치법 시행령」제2조의소재·부품·장비산업 대상 업종 분야의 제조기업)
- 지원내용: 반도체 장비 확보가 어려운 관내 소부장기업에 성능평가,검증 등에 소요되는 장비 사용료 지원 ※한국나노기술원 장비 활용 必
- 지원규모: 20개사, 기업당 최대 9,000천원
- 상위 구간 적용으로 인해 산정 지원금이 직전 구간의 최대 지원금액보다낮아질 경우, 직전 구간의 최대 지원금액을 보장함(부가가치세 제외)
- 상위 구간 적용으로 인해 산정 지원금이 직전 구간의 최대 지원금액보다
지원분야
반도체 소부장기업 실증(장비사용료)
지원대상
화성시 관내 반도체 소·부·장 중소·중견기업
※본사, 공장, 연구소 중 1개 이상 화성시 소재 필수
지원내용
반도체 장비 확보가 어려운 관내 소부장기업에 성능평가, 검증 등에 소요되는 장비 사용료 지원
지원규모
20개사
- 지정 양식 작성 후 제출
- 2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 신청서
- 2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 사업계획서
- 신청기업 개인정보 수집, 이용, 제공 동의서
- 2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원사업 청렴서약서
- 필수 제출서류
- 중소·중견기업 확인서※공고 게시일 이후 유효한 경우
- 소재·부품·장비 전문기업확인서※공고 마감일 기준 유효한 경우
- 사업자등록증 또는 사업자등록증명원/(법인) 법인등기부등본※최근 3개월 이내 발급분, 법인의 경우 법인등기부등본 제출 필수(단, 개인사업자가 법인으로 전환한 경우 최초의 사업자등록증과 법인등기부등본을 모두 제출하여야 함)
- 공장등록증※공고 게시일 이후 관내 공장등록이 되어 있는 경우
- 기업부설연구소 또는 연구개발전담부서 인정서※공고 게시일 이후 유효한 경우
- 국세·지방세 완납 증명서※공고 게시일 이후 발급분 제출 필수
- 중소·중견기업 확인서
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1. 공고문.pdf
2. 한국나노기술원 실증 장비지원 목록.pdf
3. 신청서식.hwp
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