부스터(Vster)부스터
로그인무료로 시작
지원사업행사·교육내 워크스페이스
로그인무료로 시작
홈›지원사업›공고 상세

품목지정형 반도체 소재·부품·장비 R&D 지원사업 모집공고

account_balance용인시산업진흥원·visibility8
사업개요
반도체 소재·부품·장비 응용기술(요소기술) R&D 지원을 통해 반도체 기업 기술 역량 확보 및 기업 경쟁력 강화를 지원하고자 아래 내용과 같이 지원사업을 공고하오니 많은 관심과 참여 바랍니다.
지원분야
반도체 소재·부품·장비 응용기술(요소기술) R&D
지원대상

용인 소재 본사 또는 공장 등록 기업

  • 반도체용 소재·부품·장비·공정시설용 (시)제품 보유 또는 개발 기업
  • 단순 유통 또는 조립만을 수행하는 기업 제외
지원내용
○ 사업내용: 품목지정형 추진과제(RFP 2건)에 대한 3개년 R&D 비용 지원 품목번호 품목명(TRL: 4~6단계) 2026-소재부품장비-요소기술01 질소(N2) 정제를 위한 소형 Purifier 기반 EFEM 퍼지 재활용 시스템 기술 개발 2026-소재부품장비-요소기술02 차세대 식각/증착 공정의 플라즈마 부하 변동 안정화를 위한 다중 주파수·고조파 대응 능동형 RF Harmonic Matching system 개발 2026-소재부품장비-요소기술03 고온·고부하 환경에서 정밀 열유동 균일화 가능한 반도체 패키지 테스트용 챔버 개발 ※ 상기 품목지정 RFP 중 2개 과제를 선정 및 지원 ※ [별첨1] 품목지정형 반도체 소재·부품·장비 목록 참고
지원규모
2개사
신청자격
  • 지원대상: 용인 소재 본사 또는 공장 등록 기업
  • 반도체용 소재·부품·장비·공정시설용 (시)제품 보유 또는 개발 기업
  • 단순 유통 또는 조립만을 수행하는 기업 제외
서류구분번호구비서류부수비고
필수 제출1사업계획서1부- (붙임) 양식 작성 후 제출 PDF 파일 제출
※ 인감(개인/법인) 직인날인. 원본은 추후 선정기업 대상 제출요청 예정
※ 최종 선정기업은 선정 후 인감증명서 제출
※ 3개년 연구개발 종합 계획 및 1차년도
2확약서1부
3개인정보 이용 및 제공 동의서각 1부- (붙임) 양식 작성 후 제출
※ 대표자 및 참여인력 등 신청서에 개인정보를 입력한 모든 인원 서명 후 PDF파일로 제출
4사업자등록증, 사업자등록증명원각 1부등록증과 증명원 각 1부씩 모두 제출
- 증명원: 공고일 기준 1개월 이내 발급분
- 용인 공장 소재 기업은 공장등록증도 함께 제출
52025년 재무제표1부법인사업자는 국세정 표준재무제표증명
※ 2025년 재무제표 결산 이전인 경우 부가가치세과세표준증명원으로 대체
- 개인사업자는 부가가치세증명원 제출
- 면세사업자는 수입금액증명원 제출
6국세/지방세 납입증명서각 1부- 모집공고일 기준 유효한 서류 제출
- 지방세, 국세납입증명서 각각 제출
- 개인사업자의 경우 지방세납세증명서 제출 시, 주소(영업소)에 주사업장 표기 필수
7NTIS 차별성 검토 검색결과증1부기본값(40점)으로 검색
해당 시 제출
8가점 증빙서류각 1부- (여성대표자) 여성기업 확인서
- (진흥원 입주기업) 입주계약서
※ “상주”기업만 인정, “비상주” 미인정
- (우수기업) 우수기업 인증 및 확인서
- 미제출시 가점 부여 제외
- 유효기간 경과한 서류는 인정 불가
9기타 증빙서류각 1부- 신청서 내 기입한 특허, 인증, 수상내역 등에 대한 증빙자료 제출
- 이노비즈, 벤처기업 인증서, 기업부설연구소 인정서 등

[참고] 제출서류 발급처

구 분

서 류 명

발 급 처

사업자 확인

  • 사업자등록증

관할세무서 또는 국세청 홈택스

매출액 확인

  • 부가가치세 과세표준증명원

세무서 방문, 국세청 홈택스, 민원24

  • 최근 1년간 표준재무제표증명(손익계산서 必)

국세청 홈택스

세금납부 확인

  • 국세 납입 증명서

국세청 홈택스

  • 지방세 납입증명서

시·구청 또는 읍·면·동사무소,

정부24 홈페이지(www.gov.kr)